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桌面型多場輔助化學機械拋光設備

產品簡介

桌面型多場輔助化學機械拋光設備,最大兼容4英寸樣品,可定制特殊尺寸拋光頭。3-8氣路通道。使用專門結構“兩點波珠定位"法蘭設
計。定位準確,拆裝方便。

保持環/樣品獨立氣壓控制,可實現多段施壓。

產品型號:
更新時間:2026-04-30
廠商性質:代理商
訪問量:230
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桌面型多場輔助化學機械拋光設備
桌面型多場輔助化學機械拋光設備,最大兼容4英寸樣品,可定制特殊尺寸拋光頭。3-8氣路通道。使用專門結構“兩點波珠定位"法蘭設
計。定位準確,拆裝方便。

樣品加工尺寸:最大兼容4英寸,可定制特殊尺寸拋光頭。
工藝裝夾方式:手動操作。
拋光頭下壓力:最大350N(根據需求可開放更高壓力)
拋光頭轉速:最高120RPM(根據需求可開放更高轉速)

拋光盤轉速:最高120RPM(根據需求可開放更高轉速)
拋光盤直徑:300mm。
拋光液:2路,流速最高200mL/min(根據需求可開放更高流量)
在線測量模塊:電機扭矩、轉速、氣壓等。
多場模塊:可選配電化學模塊、光催化模塊

桌面型多場輔助化學機械拋光設備


 保持環/樣品獨立氣壓控制,可實現多段施壓。
桌面型多場輔助化學機械拋光設備桌面型多場輔助化學機械拋光設備                                                                                                                  


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